金属光谱分析仪的原理主要基于光谱分析技术，涉及原子的电离与激发产生谱线，以及这些谱线的测量和分析。其工作流程大致如下：样品准备。将金属样品制成薄片或放在电极上，以便进行电弧放电或激光辐射激发。激发与原子化。通过施加电流或使用激光激发样品，使样品中的金属元素被激发和电离，形成一个带电等离子体区域。这个过程中，样品蒸发并原子化，电子与原子碰撞电离出正离子。