高性能光电直读光谱仪主要由核心零部件：真空光学室、分光室铸件、光栅、光电倍增管、CCD、入射狭缝、出射狭缝、透镜、激发光源、激发台、激发光源模板、钨电极、辅助电极、石英杯、样品夹具、 真空泵、空气过滤器、氩气管路、气路控制阀门、积分放大器、智能控制电路板、温度传感器、真空传感器、稳压电源、电脑、打印机、操作分析应用软件等组成。而其中光栅就显得格外重要，也是高性能光电直读光谱仪的重要判断指标。